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常见术语
什么是振镜?
振镜也是一种优良的矢量扫描器件,是一种特殊的摆动电机。
基本原理
通电线圈在磁场中产生力矩,其转子通过机械纽簧或电子的方法加有复位力矩,大小与转子偏离平衡位置的角度成正比,当线圈通以一定的电流而转子发生偏移到一定的角度时,电磁力矩与恢复力矩大小相等,只能偏转,与电流计一样,故振镜又叫做电流计扫描器(galvanometric scanner)。
振镜扫描系统(后物镜平面扫描系统)
如图所示,由计算机、XYZ扫描头、动态聚焦组件、驱动器、物镜等组成。
二维振镜工作原理示意图
三维振镜工作原理示意图
振镜的扫描控制
聚焦误差
枕形畸变
枕形畸变的软件校正
参考论文详见附件!
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