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1：文档1是SEMI S22 半导体制造设备电气设计安全指南,标准的中文翻译原版，我翻译狗24元翻译的。
2：文档2是SEMI S2 半导体制程设备安全准则 ,的网络简单版里面有几句我的解读。
这两个文档主体内容相同只是文档1更详细些，主要内容是半导体SEMI标准中的电气部分。
包括
a，急停应该直接切断供电回路，而不是接入 PLC 间接停止设备b,关于EMO安全的规定。
c，设备接地后，如何检测接地良好：电气设备任意点和地线电阻<0.1Ω，漏电电流<3.5mA.
d，规定了急停开关距离操作点距离不超过3公尺。
e：规定了电线颜色应遵循国家标准，用颜色区分。
等等吧，做半导体电气的同事可以看下，借鉴下。
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